半导体相关系统 – PSX307/PSX307-HSA Plasma Cleaner
等离子清洁机 PSX307/PSX307-HSA
是附带自动传送的基板用平行平板型等离子清洁机
PSX307是附带自动传送的基板用平行平板型等离子清洁机。有附带加载·卸载和在线规格可供选择，根据基板尺寸，可从以下2种机型中选择。
S 类型基板尺寸：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M 类型基板尺寸：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
S 类型基板尺寸：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M 类型基板尺寸：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
优势和特点
应用事例
接合性
密闭性
维修保养支持 应用（PSX307-HSA）
通过等离子清洁机（PSX307）设备状态的可视化，支持预防保全
- 对设备状态变化进行评分，实现最佳时期的维修保养
- 能够确认最多100台的有计划的运用
- 适用于既存的等离子清洁机（PSX307），无需特殊改造
设备（反应室）的污垢程度显示
设备 （反应室）的污垢程度变迁和相关度显示
- 状态变迁：显示过去30天的状态
- 污垢相关度：显示受影响的部位
系统构成
解决方案
主要规格
| PSX307 Plasma Cleaner | |
|---|---|
| 清洁方式 | 高频率平行板逆电极方式
|
| Gas for electrical discharge | 氩气 ( 选购件 : 氧气 ) |
| 电源 | 单相AC 200 V 2.00 kVA ( 峰值时 5.00 kVA ) |