Ultrahigh accurate 3-D profilometer (UA3P)
规格表
| UA3P-3100 | UA3P-4000 | UA3P-5000H | UA3P-400T | UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | UA3P-300 | UA3P-400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 机种名 | UA3P-3100 | UA3P-4000 | UA3P-5000H | UA3P-400T | UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | UA3P-300 | UA3P-400 |
| 外形尺寸(WXDXH) mm | 760 x 860 x1580
| 1060 x 1200 x 1610 | 1300 x 1560 x 1900 | 1070 x 1230 x 1530 | 1260 x 1510 x 1580 | 2100 x 1830 x 2110 | 2100 x 1830 x 2200 | 700 x 800 x 1510 | 1010 x 1110 x 1450 |
| 本体重量 | 900kg (其他：200kg)
| 1500kg (其他：300kg) | 3200kg (其他：300kg) | 750kg | 2400kg (其他：300kg) | 8500kg (其他：300kg) | 9000kg (其他：300kg) | 700kg（其他：150kg) | 1200kg（其他：150kg) |
| 测量范围(X,Y,Z轴）mm | 3100-A30： 30 x 30 x 20 3100-A50： 50 x 50 x 20 | 4000-A100: 100 x 100 x 35 4000-A120: 120 x 120 x 35 | 200 X 200 X 50 | 100 x 100 x 50 | 200 x 200 x 45 UA3P-550H (+260 x 90 x 45) | 400 x 400 x 120 +Φ500 x 120 | 500X500X 120 | 30 x 30 x 20 | 100 x 100 x 35 |
| 测量物设置区域(X,Y,Z轴）mm | 130 x 130 x 120
| 210 x 210 x 127.5 | 300 x 300 x 255 | 200 x 200 x 140 | 300 x 270 x 252.5 | 600 x 600 x 330 | 600 x 600 x 330 | 100 x 100 x 120 | 220 x 220 x 132 |
| 分辨率 | 0.3 nm
| 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm |
| 上表面测量最大倾斜角度 | 75°
| 75° | 75° | 75° | 75° | 75° | 75° | 75° | 75° |
| 侧面测量角度 | －
| － | － | 水平：45~90゜／垂直：80~90° | － | － | － | － | － |
| 基子上表面探头的测量精度 | 30゜以下：土0.04µm（往返） 45゜以下：土0.05µm（往返） 60゜以下：土0.06µm（往返） 70゜以下：士0.08µm（往返） （参考）法线方向显示(Nd)的情形0~70度：土0.05µm | 30゜以下：土0.05µm（往返） 45゜以下：土0.06µm（往返） 60゜以下：土0.07µm（往返） 70゜以下：士0.10µm（往返） （参考）法线方向显示(Nd)的情形0~70度：土0.05µm | 30゜以下：土0.05µm（往返） 45゜以下：土0.06µm（往返） 60゜以下：土0.07µm（往返） 70゜以下：士0.10µm（往返） （参考）法线方向显示(Nd)的情形0~70度：土0.05µm | 30゜以下：士0.05µm（往返） 45゜以下：士0.08µm（往返） 60゜以下：士0.10µm（往返） 70゜以下：士0.15µm（向下） | 30゜以下：士0.05µm（往返） 45゜以下：士0.08µm（往返） 60゜以下：士0.10µm（往返） 70゜以下：士0.15µm（向下） | 30゜以下：士0.05µm（往返） 45゜以下：士0.08µm（往返） 60゜以下：士0.10µm（往返） 70゜以下：士0.15µm（向下） | 30゜以下：士0.05µm（往返） 45゜以下：士0.08µm（往返） 60゜以下：士0.10µm（往返） 70゜以下：士0.15µm（向下） | 30゜以下：士0.05µm（往返） 45゜以下：士0.08µm（往返） 60゜以下：士0.10µm（往返） 70゜以下：士0.15µm（向下） | 30゜以下：士0.05µm（往返） 45゜以下：士0.08µm（往返） 60゜以下：士0.10µm（往返） 70゜以下：士0.15µm（向下） |
| 基于坐标轴的测量精度（XY轴测量精度） | 100mm以下：0.05µ m（再现精度0.05µm以内）
| 100mm以下：0.05µ m（再现精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m（再现精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µm/200mm以下：0.1µm/ 400mm以下：0.2µm/ 500mm以下：0.3µm（再现精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µm/200mm以下：0.1µm/ 400mm以下：0.2µm/ 500mm以下：0.3µm（再x精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µm/200mm以下：0.1µm/ 400mm以下：0.2µm/ 500mm以下：0.3µm（再现精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m/200mm以下：0.1µm
（再现精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m/200mm以下：0.1µm
（再现精度0.05µm以内） | |
| 测量速度 | 0.005~5mm/sec
| 0.01~10mm/sec | 0.02~20mm/sec | 上面0.01~10mm/sec,侧面0.01~5mm/sec | 0.02~20mm/sec | 0.032~32mm/sec | 0.032~32mm/sec | 0.005~5mm/sec | 0.01~10mm/sec |
| 使用环境 温度／湿度／振动 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值1.0cm/S2(=1.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值1.0cm/S2(=1.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值1.0cm/S2(=1.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值2.0cm/S2(=2.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值2.0cm/S2(=2.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值2.0cm/S2(=2.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值2.0cm/S2(=2.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值2.0cm/S2(=2.0ga|) 建议值0.5cm/S2 | 20~23°c（变动 土1°c以下）／20~60％ ／允许值2.0cm/S2(=2.0ga|) 建议值0.5cm/S2 |
| 所用电源 | AC100V土5%/ 14A
| AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A |
| 气压源：气压 0.5MPa~1.0MPa 流量 | 150 L/min(ANR)
| 200 L/min(ANR) | 350 L/min(ANR) | 100 L/min(ANR) | 250L/min(ANR) | 450 L/min(ANR) | 450 L/min(ANR) | 100 L/min(ANR) | 150 L/min(ANR) |
| 标准附件 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60、侧面红宝石测头Φ2mm 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60、侧面红宝石测头Φ2mm 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60、侧面红宝石测头Φ2mm 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60、侧面红宝石测头Φ2mm 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60、侧面红宝石测头Φ2mm 探头、校正用基准球、打印机 | 上表面陶瓷测头R500µm、上表面金刚石测头R2D60、侧面红宝石测头Φ2mm 探头、校正用基准球、打印机 |